COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 

專為在動態(tài)負(fù)載下實(shí)現(xiàn)最高穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)。

cito Plus 提供脈沖質(zhì)量、穩(wěn)定性和功率測量精度，使其成為等離子體沉積和蝕刻應(yīng)用以及非半導(dǎo)體應(yīng)用的選擇。

正常運(yùn)行時(shí)間長 - 專注于吞吐量和降低運(yùn)營成本

精度、可重復(fù)性和穩(wěn)定性的價(jià)值 - 滿足您的工藝要求

更高的電源效率 - 更好的經(jīng)濟(jì)性和環(huán)保型

cito Plus系列特征

對稱開環(huán)響應(yīng)

高精度功率控制

脈沖高達(dá) 100 kHz；

具有可變相位延遲的 CEX

CEX 輸出分頻器

符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)

cito Plus系列好處

可預(yù)測的等離子體行為

輕松的系統(tǒng)集成

可重復(fù)的晶圓結(jié)果

在任何電纜長度下都能保持穩(wěn)定

在任何負(fù)載下均具有出色的脈沖形狀

與大多數(shù)生產(chǎn)設(shè)備兼容

citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技術(shù)參數(shù)

訂貨號 64001035 

系列cito Plus 

頻率13.56 MHz

射頻功率600 瓦

脈沖是的

前面板積極

現(xiàn)場總線沒有

模擬接口25 針

匹配網(wǎng)絡(luò)接口AGS 系列

交流輸入187 至 265 VAC 

冷卻空氣

射頻輸出連接器N 型

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP